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ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 GR180A，通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。

ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 GR90A，通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。

ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 GR60，通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。

ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 HR1200，通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。

ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 HR600，通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。

ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 HR300，通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。

ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 HR90，通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。

ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 HR60，通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。

ULVAC愛發科 螺桿式干式真空泵 LS1200A，希望進一步提高排氣速度的話，建議您搭配機械增壓泵使用。

ULVAC愛發科 螺桿式干式真空泵 LS600A，希望進一步提高排氣速度的話，建議您搭配機械增壓泵使用。

ULVAC愛發科 螺桿式干式真空泵LS300A，希望進一步提高排氣速度的話，建議您搭配機械增壓泵使用。

ULVAC愛發科 螺桿式干式真空泵 LS120A，希望進一步提高排氣速度的話，建議您搭配機械增壓泵使用。

ULVAC愛發科 螺桿式干式真空泵 MS1200A，通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。

ULVAC愛發科 螺桿式干式真空泵 MS600A，通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。

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